用臭氧作為水處理劑操作簡單，殺菌消毒能力強，排污量小，不用調節水的PH值，不存在二次污染等特點。對循環水的緩蝕、阻垢、殺生等方面均有良好的效果。 臭氧具有阻止水垢生成的能力，使用臭氧，水中的總溶解固體可達到1700mg/L,硬度可達到724 mg/L,而不結垢，這是常用阻垢劑所不能比擬的。而雖然作為一種強氧化劑，臭氧具有防腐蝕性，臭氧抑制腐蝕的機理與鉻酸鹽緩蝕劑的機理大致相似，使用臭氧后，循環冷卻系統中鋼鐵的腐蝕速度為標準要求的二分之一到三分之一。
臭氧是最強的無污染氧化型殺生劑，在0.1X10-6的濃度下，即可有效殺滅病毒及細菌，并能有效地控制循環水中微生物的生長，減輕生物污垢及其引起的垢下腐蝕。同時，能氧化垢層基質中的有機物成分，使垢層失去黏結劑變松脫落，從而起到除垢的作用。由于臭氧能有效殺滅病毒微生物，因而可以減少甚至清除冷凝器及換熱器上的污垢。由于臭氧是現場制造，只是用電及空氣可實現自動控制，不需要儲存和投加藥品，因而可節約操作及管理費用。臭氧的密度較空氣重，在循環冷卻水中一般存在于水的表面。臭氧在空氣中能存在4到12小時，在水中能存在1到30分鐘（一般只有20分鐘，當處理污水、污物或負荷較大時，只有1到4分）。事實是壓力、溫度、露點、PH值對其都有很大的影響。例如40以上，使用臭氧的效果不是很好。
臭氧發生器有三種：高壓放電式、紫外線照射式、電解式。高壓放電式發生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。按發生器的高壓點頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（100-1000 Hz）和高頻（＞1000 Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高、效率低等缺點，目前已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產氣量大等優點，是現在最常用的產品。按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。 氧氣型通常是由氧氣瓶或制氧機供應氧氣?？諝庑屯ǔＪ鞘褂每諝猓ㄈ鐗嚎s空氣）作為原料。由于臭氧是靠氧氣來產生的，而空氣中氧氣的含量只有21%，所以空氣型發生器產生的臭氧濃度比較低，同時還會衍生氧化物。而瓶裝或制氧機的氧氣濃度都在90%以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度較高；純氧制臭氧效果更佳，氧氣濃度提高6%，臭氧的濃度會提高16%。大型工頻臭氧發生器（產臭氧量＞1KG/H）生產每公斤臭氧的電耗≤18KWH, 中型工頻臭氧發生器（產臭氧量100-1000G/H）生產每公斤臭氧的電耗≤20KWH, 小型工頻臭氧發生器（產臭氧量＞1-100G/H）生產每公斤臭氧的電耗≤18KWH。
臭氧處理系統大多由空氣預制裝置（空氣干燥器、空氣壓縮機）、臭氧發生器、臭氧與水接觸裝置（文丘里混合器）、自動控制儀器等組成。臭氧可用氣泡擴散法、正壓注入法、逆流氣泡接觸法、渦輪混合法等溶解于水中，但更合適于循環水系統的臭氧融合裝置式文丘里管加靜態混合器、噴射器加靜態混合器。
空氣經壓縮干燥后再臭氧發生器中電離產生臭氧；臭氧一般通過冷卻塔循環水中的測流加入，此處的水溫最低（實驗表明，臭氧宜在40℃以下工作，此時臭氧在循環水中的溶解度消毒3mg/h,最好能低于37.7℃以下），能將最大量的臭氧溶入水中。在30000m3/h循環水系統運行中，臭氧加入量為0.1-0.3mg/L,系統中殘余臭氧量為0.05 mg/L。
臭氧是最強的無污染氧化型殺生劑，在0.1X10-6的濃度下，即可有效殺滅病毒及細菌，并能有效地控制循環水中微生物的生長，減輕生物污垢及其引起的垢下腐蝕。同時，能氧化垢層基質中的有機物成分，使垢層失去黏結劑變松脫落，從而起到除垢的作用。由于臭氧能有效殺滅病毒微生物，因而可以減少甚至清除冷凝器及換熱器上的污垢。由于臭氧是現場制造，只是用電及空氣可實現自動控制，不需要儲存和投加藥品，因而可節約操作及管理費用。臭氧的密度較空氣重，在循環冷卻水中一般存在于水的表面。臭氧在空氣中能存在4到12小時，在水中能存在1到30分鐘（一般只有20分鐘，當處理污水、污物或負荷較大時，只有1到4分）。事實是壓力、溫度、露點、PH值對其都有很大的影響。例如40以上，使用臭氧的效果不是很好。
臭氧發生器有三種：高壓放電式、紫外線照射式、電解式。高壓放電式發生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。按發生器的高壓點頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（100-1000 Hz）和高頻（＞1000 Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高、效率低等缺點，目前已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產氣量大等優點，是現在最常用的產品。按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。 氧氣型通常是由氧氣瓶或制氧機供應氧氣?？諝庑屯ǔＪ鞘褂每諝猓ㄈ鐗嚎s空氣）作為原料。由于臭氧是靠氧氣來產生的，而空氣中氧氣的含量只有21%，所以空氣型發生器產生的臭氧濃度比較低，同時還會衍生氧化物。而瓶裝或制氧機的氧氣濃度都在90%以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度較高；純氧制臭氧效果更佳，氧氣濃度提高6%，臭氧的濃度會提高16%。大型工頻臭氧發生器（產臭氧量＞1KG/H）生產每公斤臭氧的電耗≤18KWH, 中型工頻臭氧發生器（產臭氧量100-1000G/H）生產每公斤臭氧的電耗≤20KWH, 小型工頻臭氧發生器（產臭氧量＞1-100G/H）生產每公斤臭氧的電耗≤18KWH。
臭氧處理系統大多由空氣預制裝置（空氣干燥器、空氣壓縮機）、臭氧發生器、臭氧與水接觸裝置（文丘里混合器）、自動控制儀器等組成。臭氧可用氣泡擴散法、正壓注入法、逆流氣泡接觸法、渦輪混合法等溶解于水中，但更合適于循環水系統的臭氧融合裝置式文丘里管加靜態混合器、噴射器加靜態混合器。
空氣經壓縮干燥后再臭氧發生器中電離產生臭氧；臭氧一般通過冷卻塔循環水中的測流加入，此處的水溫最低（實驗表明，臭氧宜在40℃以下工作，此時臭氧在循環水中的溶解度消毒3mg/h,最好能低于37.7℃以下），能將最大量的臭氧溶入水中。在30000m3/h循環水系統運行中，臭氧加入量為0.1-0.3mg/L,系統中殘余臭氧量為0.05 mg/L。